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传感元件

图形化镀膜晶圆

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图形化镀膜晶圆
在玻璃/硅基片/硅芯片上分区域进行分歧定造光谱的图形化加工,是靠近光,环境光等分歧光学传感器的主题滤光元件。
技术规格
  • 规格
    重要技术参数
  • 光刻图形
    最幼线宽:30um对位精度:±5um
  • 光谱均匀性
    中心波长±10nm
  • 截止带
    >OD3
  • 表表质量
    单颗>15um  以上不允许
  • 片内良率
    >95%
销售/技术联系方式
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